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高品質微型純蒸汽發生器通過精密計量泵控制進液量，經相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉化成水蒸氣，穩定地將一路液體蒸發。自主研發的相變汽化模塊優勢：蒸發混合穩定并有非常寬的蒸發范圍。它的應用范圍較廣泛，主要為實驗室產生流量可調、溫度可控的水蒸氣，也可作為液體的相變發生器。

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蝕刻蒸汽發生器通過精密計量泵控制進液量，經相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉化成水蒸氣，穩定地將一路液體蒸發。自主研發的相變汽化模塊優勢：蒸發混合穩定并有非常寬的蒸發范圍。

晶圓清洗蒸汽發生器通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩定地將一路液體蒸發。

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